Evidence of material mixing during local anodic oxidation nanolithography / G. MORI; M. LAZZARINO; ERCOLANI D; G. BIASIOL; L. SORBA; S. HEUN. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 98(2005), p. 114303.
Titolo: | Evidence of material mixing during local anodic oxidation nanolithography |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2005 |
Rivista: | |
Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1063/1.2136212 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11384/12716 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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mori2005-evidence of material mixing during LAO nanolithography-JAP-98-114303.pdf | Post-print / Author's accepted manuscript | Non pubblico | Administrator Richiedi una copia |
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