一种用于检测流体内分析物的传感化装置（100）包括：压电衬底（105），该压电衬底具有外表面（105'）；至少一个R‑SAW发射叉指换能器（111），该至少一个R‑SAW发射叉指换能器布置在外表面（105'）上并且被布置成响应于电输入信号发射瑞利型表面声波，也称为R‑SAW，所述R‑SAW沿第一发射方向x发射；和至少一个SH‑SAW发射叉指换能器（112），该至少一个SH‑SAW发射叉指换能器布置在外表面（105'）上并且被布置成响应于电输入信号发射剪切水平型表面声波，也称为SH‑SAW，所述SH‑SAW沿第二发射方向y发射。特别地，压电衬底（105）由选自64°Y切割铌酸锂和163°Y切割铌酸锂的材料制成，使得压电衬底（105）支持剪切水平型表面声波作为其主模式，该主模式被定义为在压电衬底（105）上表现出更大机电耦合的表面声波。此外，第一发射方向x和第二发射方向y具有相对角度，使得。
使用声波实时分析流体的传感化装置
AGOSTINI Matteo
2024
Abstract
一种用于检测流体内分析物的传感化装置（100）包括：压电衬底（105），该压电衬底具有外表面（105'）；至少一个R‑SAW发射叉指换能器（111），该至少一个R‑SAW发射叉指换能器布置在外表面（105'）上并且被布置成响应于电输入信号发射瑞利型表面声波，也称为R‑SAW，所述R‑SAW沿第一发射方向x发射；和至少一个SH‑SAW发射叉指换能器（112），该至少一个SH‑SAW发射叉指换能器布置在外表面（105'）上并且被布置成响应于电输入信号发射剪切水平型表面声波，也称为SH‑SAW，所述SH‑SAW沿第二发射方向y发射。特别地，压电衬底（105）由选自64°Y切割铌酸锂和163°Y切割铌酸锂的材料制成，使得压电衬底（105）支持剪切水平型表面声波作为其主模式，该主模式被定义为在压电衬底（105）上表现出更大机电耦合的表面声波。此外，第一发射方向x和第二发射方向y具有相对角度，使得。File in questo prodotto:
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